數(shù)字式質量流量控制器進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體的干凈《不能進水/油、雜質粉塵不超過20微米》。用肥皂水對管路進行泄漏檢測時，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上。

美國ALICAT-M系列數(shù)字式質量流量控制器

　　Alicat的M系列數(shù)字式質量流量計可快速精確地測量過程氣體的質量流量、體積流量、壓力和溫度。

　　Alicat的M系列質量流量計采用內部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動，充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。所有Alicat質量流量計均具有NIST可溯源校準證書。

　　美國ALICAT-M系列數(shù)字式質量流量控制器

　　性能參數(shù)

　　流量范圍 0.5SCCM-5000SLPM

　　可自行修改流量單位如kg/h、g/min等

　　標定氣體 內置90條氣體可選擇

　　精度(調零后) ±(0.8%Rd+0.2%FS)

　　高精度(調零后) ±(0.4%Rd+0.2%FS),限于5SCCM-500SLPM

　　重復性 ±0.2%FS

　　漂移(零點/滿量程) 0.02%F.S/ºC/Atm

　　工作范圍 0.5-

　　響應時間 10毫秒(可調整)

　　啟動預熱時間 1秒內

　　標準工況 25ºC&14.696psia，可自定義修改

　　工作溫度范圍 -10~-50℃(另有高溫訂制品)

　　工作濕度范圍 0-RH(非冷凝)

　　大工作壓力 10Bar

　　大工作壓差 5bar

　　安裝方向 任意

　　材質 SUS302303304不銹鋼、密封圈VITON

　　顯示屏 背光LCD顯示屏，同時顯示流量、壓力、溫度

　　數(shù)字信號 標準RS232

　　選配:RS485、MODBUS-RTU、PROFIBUS、DeviceNet

　　以太網(wǎng)RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/ModbusTCP-IP)

　　模擬信號

　　標準0-5V/1-5V/0-10V

　　選配:4-20mA

　　第二路模擬信號

　　標準0-5V/1-5V/0-10V

　　選配:4-20mA

　　電氣接口

　　標準圓形8芯

　　選配:圓形6芯、DB9、DB15

　　供電電壓 +24VDC

　　消耗電流 100mA以內

電器連接

備注：以上是標配圓新8芯接線注解，其他接口可定制

壓損、管路接口

使用注意

 　　一：進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體的干凈《不能進水/油、雜質粉塵不超過20微米》。

　　二：用肥皂水對管路進行泄漏檢測時，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上。

　　三：安裝前，請將設備管路進行整體吹掃。

　　四：需要進行零點漂移清零的時候，確認進/出口沒流量沒壓力下、設定值是0的狀態(tài)再操作。

　　五：工作壓差大5bar。