美國ALICAT耐高壓質量流量控制器，適用于高壓應用氣體質量流量的測量和控制。可用量程：0-5000 slpm；0-10 sccm，可調比：50:1，校準精度（NIST可溯源）：±2%滿量程，可重復性：0.2%滿量程，標準控制器響應時間常數：5-10ms，無需預熱時間

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