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日本科賦樂內拋光系列質量流量控制器

更新時間:2025-01-23

簡要描述:

日本科賦樂內拋光系列質量流量控制器
日本KOFLOC5100系列質量流量控制器-內拋光
金屬密封,泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
內部拋光Ra≤0.1,杜絕二次污染介質
±15VDC供電性能穩定,0-5V模擬信號更加通用
適用于高真空、半導體以及對管路潔凈度高要求場合

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日本科賦樂內拋光系列質量流量控制器
產地進口加工定制
質保1年

日本科賦樂內拋光系列質量流量控制器
日本KOFLOC5100系列質量流量控制器-內拋光
金屬密封,泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
內部拋光Ra≤0.1,杜絕二次污染介質
±15VDC供電性能穩定,0-5V模擬信號更加通用
適用于高真空、半導體以及對管路潔凈度高要求場合

日本科賦樂內拋光系列質量流量控制器

性能參數:

 

量程(N2)

1SCCM-20SLPM

精度

±1.0%FS

重復性

±0.2%FS

響應時間

1秒以內

耐壓

1.0Mpa

進口大壓力

O.3Mpa

動作壓差

0.05-0.3Mpa

泄漏率

1*10-11pa·m³/s以下

內拋光

Ra≤0.1

溫度范圍

5-45℃

濕度范圍

10-90%RH(不能結露)

材質

本體SUS316L

 

密封圈SUS316L、PTFE

電氣接口

DB9

模擬信號

0-5V輸入/輸出

供電

+15VDC(±5%)100mA;-15VDC(±5%)100mA;

管路連接

標配1/4UJR

 

選配1/8UJR

重量

約1000g

 

    ★使用注意

 

一:進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用,保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進水)、雜質粉塵不超過20微米》。

二:用肥皂水對管路進行泄漏檢測時,只能將肥皂水噴灑在管路接頭上,不能噴在儀表或電氣插頭上。

三:安裝前,請將設備管路進行整體吹掃。

四:耐壓1.0Mpa,進口大壓力5公斤。

五:需要進行零點漂移清零的時候,確認進/出口沒流量沒壓力下 再操作。

 

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